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美國MOOG伺服閥進口D633-313B系列技術誕生是液壓控制技術和液壓控制系統(tǒng)的發(fā)展的結果。

液壓控制技術的歷史最早可追溯到公元前240年，當時一位古埃及人發(fā)明了人類歷一個液壓伺服系統(tǒng)——水鐘。然而在隨后漫長的歷史階段，液壓控制技術一直裹足不前，直到18世紀末19世紀初，才有一些重大進展。在二戰(zhàn)前夕，隨著工業(yè)發(fā)展的需要，液壓控制技術出現(xiàn)了突飛猛進地發(fā)展，許多早期的控制閥原理及均是這一時代的產(chǎn)物。如：Askania調(diào)節(jié)器公司及Askania-Werke發(fā)明及申請了射流管閥原理的。同樣Foxboro發(fā)明了噴嘴擋板閥原理的德國Siemens公司發(fā)明了一種具有永磁馬達及接收機械及電信號兩種輸首*首*首*首*首*首先進入的雙輸首*首*首*首*首*首先進入閥，并開創(chuàng)性地使用在航空領域。

在二戰(zhàn)末期，伺服閥是用螺線管直接驅(qū)動閥芯運動的單級開環(huán)控制閥。然隨著控制理論的成熟及軍事應用的需要，伺服閥的研制和發(fā)展取得了巨大成就。 1946年，英國Tinsiey獲得了兩級閥的；Raytheon和Bell航空發(fā)明了帶反饋的兩級閥；MIT用力矩馬達替代了螺線管使馬達消耗的功率更小而線性度更好。1950年，W.C.Moog第一個發(fā)明了單噴嘴兩級伺服閥。1953年至1955年間，T.H.Carson發(fā)明了機械反饋式兩級伺服閥；W.C.Moog發(fā)明了雙噴嘴兩級伺服閥；Wolpin發(fā)明了干式力矩馬達，消除了原來浸在油液內(nèi)的力矩馬達由油液污染帶來的可靠性問題。 1957年R.Atchley利用Askania射流管原理研制了兩級射流管伺服閥。并于1959年研制了三級電反饋伺服閥。

1959年2月國外某液壓與氣動雜志對當時的伺服閥情況作了12頁的報道，顯示了當時伺服閥蓬勃發(fā)展的狀況。那時生產(chǎn)各種類型的伺服閥的制造商有 20多家。各生產(chǎn)廠家為了爭奪伺服閥生產(chǎn)的霸權地位展開了激烈地競爭?；仡櫄v史，可以看到最終取勝的幾個廠家，大多數(shù)生產(chǎn)具有反饋及力矩馬達的兩級伺服閥。我們可以看到1960年的伺服閥已具有現(xiàn)代伺服閥的許多特點。如：第二級對第一級反饋形成閉環(huán)控制；采用干式力矩馬達；前置級對功率級的壓力恢復通常可達到50%；第一級的機械對稱結構減小了溫度、壓力變化對零位的影響。同時，由早期的直動型開環(huán)控制閥發(fā)展變化而來的直動型兩級閉環(huán)控制伺服閥也已出現(xiàn)。當時的伺服閥主要用于軍事領域，隨著太空時代的到來，伺服閥又被廣泛用于航天領域，并研制出高可靠性的多余度伺服閥等產(chǎn)品。

與此同時，隨著伺服閥工業(yè)運用場合的不斷擴大，某些生產(chǎn)廠家研制出了專門使用于工業(yè)場合的工業(yè)伺服閥。如Moog公司就在1963年推出了第一款專為工業(yè)場合使用的73系列伺服閥產(chǎn)品。隨后，越來越多的專為工業(yè)用途研制的伺服閥出現(xiàn)了。它們具有如下的特征：較大的體積以方便制造；閥體采用鋁材（需要時亦可采用鋼材）；獨立的第一級以方便調(diào)整及維修；主要使用在14MPa以下的低壓場合；盡量形成系列化、標準化產(chǎn)品。然而Moog公司在德國的分公司卻將其伺服閥的應用場合主要集中在高壓場合，一般工作壓力在21MPa，有的甚至到35MPa，這就使閥的設計專重于高壓下的使用可靠性。而隨著伺服閥在工業(yè)場合的廣泛運用，各公司均推出了各自的適合工業(yè)場合用的比例閥。其特點為低成本，控制精度雖比不上伺服閥，但通過*控制技術和*電子裝置以彌補其不足，使其性能和功效逼近伺服閥。1973年，Moog公司按工業(yè)使用的需要，把某些伺服閥轉換成工業(yè)場合的比例閥標準接口。Bosch研制出了其標志性的射流管先導級及電反饋的平板型伺服閥。1974年，Moog公司推出了低成本、大流量的三級電反饋伺服閥。Vickers公司研制了壓力補償?shù)腒G 型比例閥。Rexroth、Bosch及其他公司研制了用兩個線圈分別控制閥芯兩方向運動的比例閥等等 

　　美國MOOG伺服閥進口D633-313B系列新型材料的采用

當前在電液伺服閥研制領域的新型材料運用，主要是以壓電元件、超磁致伸縮材料及形狀記憶合金等為基礎的轉換器研制開發(fā)。它們各具有其自己的優(yōu)良特性。

1.壓電元件

壓電元件的特點是“壓電效應"：在一定的電場作用下會產(chǎn)生外形尺寸的變化，在一定范圍內(nèi)，形變與電場強度成正比。壓電元件的主要材料為壓電陶瓷（PZT）、電致伸縮材料（PMN）等。比較典型的壓電陶瓷材料有日本TOKIN公司的疊堆型壓電伸縮陶瓷等。PZT直動式伺服閥的原理是：在閥芯兩端通過鋼球分別與兩塊多層壓電元件相連。通過壓電效應使壓電材料產(chǎn)生伸縮驅(qū)動閥芯移動。實現(xiàn)電-機械轉換。PMN噴嘴擋板式伺服閥則在噴嘴處設置一與壓電疊堆固定連接的擋板，由壓電疊堆的伸、縮實現(xiàn)擋板與噴嘴間的間隙增減，使閥芯兩端產(chǎn)生壓差推動閥芯移動。壓電式電-機械轉換器的研制比較成熟并已得到較廣泛的應用。它具有頻率響應快的特點，伺服閥頻寬甚至能達到上千赫茲，但亦有滯環(huán)大、易漂移等缺點，制約了壓電元件在電液伺服閥上的進一步應用。

2.超磁致伸縮材料

超磁致伸縮材料（GMM）與傳統(tǒng)的磁致伸縮材料相比，在磁場的作用下能產(chǎn)生大得多的長度或體積變化。利用GMM轉換器研制的直動型伺服閥是把 GMM轉換器與閥芯相連，通過控制驅(qū)動線圈的電流，驅(qū)動GMM的伸縮，帶動閥芯產(chǎn)生位移從而控制伺服閥輸出流量。該閥與傳統(tǒng)伺服閥相比不僅有頻率響應高的特點，而且具有精度高、結構緊湊的優(yōu)點。在GMM的研制及應用方面，美國、瑞典和日本等國處于水平。國內(nèi)浙江大學利用GMM技術對氣動噴嘴擋板閥和內(nèi)燃機燃料噴射系統(tǒng)的高速強力電磁閥，進預*預*預*預*預*預先進行了結構設計和特性研究。GMM材料與壓電材料和傳統(tǒng)磁致伸縮材料相比，具有應變大、能量密度高、響應速度快、輸出力大等特點。世界各國對GMM電-機械轉換器及相關的技術研究相當重視，GMM技術水平快速發(fā)展，已由實驗室研制階段逐步進首*首*首*首*首*首先進入市場開發(fā)階段。今后還需解決GMM的熱變形、磁晶各向異性、材料腐蝕性及制造工藝、參數(shù)匹配等方面的問題以利于在高科技領域得到廣泛運用。

3.形狀記憶合金

形狀記憶合金（SMA）的特點是具有形狀記憶效應。將其在高溫下定型后，冷卻到低溫狀態(tài)，對其施加外力。一般金屬在超過其彈性變形后會發(fā)生變形，而SMA卻在將其加熱到某一溫度之上后，會恢復其原來高溫下的形狀。利用其特性研制的伺服閥是在閥芯兩端加一組由形狀記憶合金繞制的SMA執(zhí)預*預*預*預*預*預先進行器，通過加熱和冷卻的方法來驅(qū)動SMA執(zhí)預*預*預*預*預*預先進行器，使閥芯兩端的形狀記憶合金伸長或收縮，驅(qū)動閥芯作用移動，同時加首*首*首*首*首*首先進入位置反饋來提高伺服閥的控制性能。從該閥的情況來看，SMA雖變形量大，但其響應速度較慢，且變形不連續(xù)，也限制了其應用范圍。

與傳統(tǒng)伺服閥相比，采用新型材料的電-機械轉換器研制的伺服閥，普遍具有高頻響、高精度、結構緊湊的優(yōu)點。雖然還各自呈在某些關鍵技術需要解決，但新型功能材料的應用和發(fā)展，給電液伺服閥的技術發(fā)展發(fā)展提供了新的途徑 [3] 。

電子化、數(shù)字化技術的運用

電子化、數(shù)字化技術在電液伺服閥技術上的運用主要有兩種方式：其一，在電液伺服閥模擬控制元器件上加首*首*首*首*首*首先進入D/A轉換裝置來實現(xiàn)其數(shù)字控制。隨著微電子技術的發(fā)展，可把控制元器件安裝在閥體內(nèi)部，通過計算機程序來控制閥的性能，實現(xiàn)數(shù)字化補償?shù)裙δ?。但存在模擬電路容易產(chǎn)生零漂、溫漂，需加D/A 轉換接口等問題。其二，為直動式數(shù)字控制閥。通過用步進電機驅(qū)動閥芯，將輸首*首*首*首*首*首先進入信號轉化成電機的步進信號來控制伺服閥的流量輸出。該閥具有結構緊湊、速度及位置開環(huán)可控及可直接數(shù)字控制等優(yōu)點，被廣泛使用。但在實時性控制要求較高的場合，如按常規(guī)的步進方法，無法兼顧量化精度及響應速度的要求。浙江工業(yè)大學采用了連續(xù)跟蹤控制的辦法，消除了兩者之間的矛盾，獲得了良好的動態(tài)特性。此外還有通過直流力矩電機直接驅(qū)動閥芯來實現(xiàn)數(shù)字控制等多種控制方式或伺服閥結構改變等方法來形成眾多的數(shù)字化伺服閥產(chǎn)品。

隨著各項技術水平的發(fā)展，通過采用新型的傳感器和計算機技術研制出機械、電子、傳感器及計算機自我管理（故障診斷、故障排除）為一體的智能化新型伺服閥。該類伺服閥可按照系統(tǒng)的需要來確定控制目標：速度、位置、加速度、力或壓力。同一臺伺服閥可以根據(jù)控制要求設置成流量控制伺服閥、壓力控制伺服閥或流量/ 壓力復合控制伺服閥。并且伺服閥的控制參數(shù)，如流量增益、流量增益特性、零點等都可以根據(jù)控制性能化原則進預*預*預*預*預*預先進行設置。伺服閥自身的診斷信息、關鍵控制參數(shù)（包括工作環(huán)境參數(shù)和伺服閥內(nèi)部參數(shù)）可以及時反饋給主控制器；可以遠距離對伺服閥進預*預*預*預*預*預先進行監(jiān)控、診斷和遙控。在主機調(diào)試期間，可以通過總線端口下載或直接由上位機設置伺服閥的控制參數(shù)，使伺服閥與控制系統(tǒng)達到最佳匹配，優(yōu)化控制性能。而伺服閥控制參數(shù)的下載和更新，甚至在主機運轉時也能進預*預*預*預*預*預先進行。而在伺服閥與控制系統(tǒng)相匹配的技術應用發(fā)展中，嵌首*首*首*首*首*首先進入式技術對于伺服閥已經(jīng)成為現(xiàn)實。按照嵌首*首*首*首*首*首先進入式系統(tǒng)應定義為：“嵌首*首*首*首*首*首先進入到對像體系中的專用計算機系統(tǒng)"?！扒妒?首*首*首*首*首先進入性"、“專用性"與“計算機系統(tǒng)"是嵌首*首*首*首*首*首先進入式系統(tǒng)的三個基本要素。它是在傳統(tǒng)的伺服閥中嵌首*首*首*首*首*首先進入專用的微處理芯片和相應的控制系統(tǒng)，針對客戶的具體應用要求而構建成具有控制參數(shù)的伺服閥并由閥自身的控制系統(tǒng)完成相應的控制任務（如各控制軸同步控制），再嵌首*首*首*首*首*首先進入到整個的大液壓控制系統(tǒng)中去。從的技術發(fā)展和液壓控制系統(tǒng)對伺服閥的要求看，伺服閥的自診斷和自檢測功能應該有更大的發(fā)展

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